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无油真空系统在真空钎焊炉上应用
发布时间:2017-03-03

  目前市场主流的真空钎焊炉中,真空系统的配置为扩散泵+罗茨泵+机械泵模式。扩散泵中的油在加热至沸腾温度后产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压康高于蒸气流中气体的分压康,被抽气体的分子便不断扩散至高速定向蒸气流中,随着蒸气流被带走,达至抽真空的目的。

  鉴于油扩散的泵的任务原理,扩散泵的返油现象即使在扩散泵口增加了水冷挡板(挡油成效约50%)或-20℃低温冷阱(挡油成效约80%),也不能从根本上解决扩散泵的返油问题。

  在对钎焊环境特殊是洁净度要求高的行业,如真空电子领域,特殊真空灭弧室的钎焊过程,普通的扩散泵真空系统越来越不能满足高品质产品的工艺需求。

  VB70100真空钎焊炉的真空系统原采用扩散泵30000l/s一台、罗茨泵1000m3//h一台、机械泵300m3/h一台;结合真空电子领域对真空洁净度的要求,对VB70100真空钎焊炉进行了改进,采用了都新的无油真空配系统,其中无油磁悬浮分子泵2200l/s三台、罗茨泵1000m3//h一台、机械泵300m3/h一台的模式。

  分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动镣给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵,而磁悬浮分子泵更是将分子泵中的轴承采用磁悬浮轴承,避免了轴承的润滑油,彻底达至了都无油的成效。

  经测试采用都无油真空系统的真空钎焊炉真空度可达5*10-5Pa,指标满足真空钎焊炉的需求;且采用都无油真空系统后真空系统的耗电功率较扩散泵系统降低了10kw;扩散泵预热时间需要1小时,冷却需要2小时,而分子泵的启动只需要30分钟,停止需要30min,这样使客户的每炉次工艺时间也有明显的缩短。


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