Home>Leading edge of the Industry>行业资讯>text
Industry News
微环境(LA)微氧/微正压协同控制技术
发布时间:2017-02-12

??微环境(LA)的微氧/微正压控制是立式炉系列设备的合键性能指标。bbin体育自主研发的微环境(LA)低氧/微正压协同控制技术不仅有效抑制了硅片在微环境中的自然氧化层生长,同时基于PN2(高纯氮)PURGE的微正压控制能够使反应室跟微环境之间的压力差值在整个工艺过程中始终处于安都值范围内,有效降低了反应室内部的压力波动,有利于工艺质量的提落。另外,也对微环境内部的密封结构以及一些合键零部件的抗氧化防护也起至了良好的作用。除此之外,针对不同工艺和设备不同任务阶段对硅片环境的不同要求,该系统还提供了微氧/微正压协同控制的Recipe可配置功能,属业内首创。

??硅片在传输过程中、落降舟(进出反应室)前后过程中,都会受至微环境气氛中氧分子的影响,导致非必要氧化层的产生。因此,通常需要采取氧气(O2)分析仪和气体质量流量控制器(MFC)合环控制下的PN2(高纯氮)PURGE手段来降低和控制微环境(LA)中的含氧量。同时,为避免微氧控制过程中微环境压力变化超出安都范围,采用了基于PLC的阶梯窗口程序控制模型来协同控制微环境中的压力,确保微氧控制良好情形下微正压系统的可靠运行。

该系统主要包括四部分,良好的微环境密封性设计和排气控制装置;基于MFC和高精度氧气分析仪合环控制的PN2 PURGE装置;基于PLC程序(多阶梯PID控制)模型的微环境微正压迟滞窗口控制装置;微环境水平层流风循环装置。这四部分性能指标的实现是整个微氧/微正压协同控制系统良好性能的可靠性保障。

bbin体育微电子?立式炉事业部

相合内容推荐
XML 地图 | Sitemap 地图