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北方微电子推出ELEDE 380E大产能高性能PSS刻蚀机
发布时间:2016-05-30

  北方微电子公司近期发布了应用于LED领域图形化衬底(PSS)制程的新型大产能高性能ICP刻蚀设备ELEDE 380E,该设备基于成熟的ELEDE 380平台构架,通过采用高解离率高密度等离子技术,大幅提落了工艺性能,能更好地满足LED PSS制程的发展需求。


  近年来,LED通用照明应用得至了快速发展,目前已经成为LED产品较大的市场需求,未来的市场潜力粗大。北方微电子作为国内LED领域高端设备及工艺解决方案提供商,从2010年就开始深入技术研发,先后推出四代ELEDE系列LED PSS刻蚀机,不断顺应PSS制程技术的发展,赢得了良好的市场口碑。ELEDE 380E作为北方微电子推出的新一代PSS刻蚀机,应用了北方微电子新开发胜利的超高选择比技术(Ultra High Selectivity,UHS),工艺性能大幅提落,具备以下三项优势:


  一、刻蚀选择比高,PSS图形刻蚀高度高形貌好。随着AlN技术的引入,目前主流PSS衬底的尺寸逐渐在向1.8*2.8um的大尺寸规格发展,ELEDE 380E设备不仅能实现1.8*2.8um的尺寸规格,而且还能保证出色的图形形貌和一致,完美匹配大尺寸PSS规格的需求。


  二、降低对光胶厚度要求,提落黄光产能和良率。ELEDE 380E设备具备高选择比的优势,使用比现有PSS刻蚀机更低厚度的光胶就可以实现相同的PSS尺寸规格,低厚度光胶不仅能缩短光刻机曝光时间提落黄光产能,而且也有助于提落黄光良率。


  三、更大的载片容量和更短的维护时间。ELEDE 380E设备标配8片4寸托盘,单盘产能比现有设备提落14%,而且ELEDE 380E设备实现了维护部件都部快速拆卸更换的功能,显著缩短了设备的维护时间,设备产能明显提落。
ELEDE380E具备的这三项优势,显著提落性能和增大产能,能有效降低客户的生产成本,为面临成本压力的PSS衬底制造领域提供了完美的解决方案。


  北方微电子公司是一家专注于高端半导体装备研发跟市场化的高新技术企业,通过在高端集成电路装备领域十余年的技术积累,形成了以薄膜工艺、刻蚀工艺、表面材料工程、等离子产生跟控制、自动化及软件、超高真空、高离化率溅射源、颗粒控制等为基础的核心技术优势,并通过实施技术和产品的多元化战略,建立了以刻蚀机、PVD和CVD三大类半导体装备产品为核心的产品战略布局。此次,完都自主研发并拥有自主知识产权的ELEDE380E大产能高性能PSS设备的胜利研发 ,以其优越的技术性能优于同行获得客户信任,为LED PSS衬底制造领域提供了更好的解决方案。

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