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GTC 精密恒温恒湿机 GTC Thermal Control Unit (TCU)

??在平板显示行业和半导体制造行业中,在对面板或者精密器件曝光、显影/涂布等处理过程中,对面板或者器件所处的工艺环境要求非常高,不同的温度和湿度稳定性和均匀性直接影响至加工工艺的良率,因此为面板或者器件提供一个恒定的温湿度环境尤为重要,精密控制温湿度才能达至良好的加工成效,减少因为温度或湿度不均匀带来的缺陷。

??NAURA GTC精密恒温恒湿机(Thermal Control Unit,?以下简称TCU)可用于平板显释辎半导体制造、精密机械加工、精密测量等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。

应用领域:

  主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制,确保曝光机、显影/涂布设备等制程良率


适用工艺:

  • 通过控制冷却风机温度,对进气温度进行调整,达至恒温状态
  • 将恒温空气以喷射的方式均匀喷布在玻璃基板的表面,使其表面温度维持稳定

联系方式
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