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SES680A 硅APCVD系统 SES680A Silicon APCVD System

??SES680A APCVD系统 SES680A Silicon APCVD System 硅外延材料作为半导体器件的主要材料,支撑着当代微电子产业的发展。微电子产业对硅外延材料电阻率均匀性、厚度均匀性和缺陷密度等方面有着越来越严格的要求,以保证功率器件的耐压、耐击穿等电学性能。硅外延设备决策着硅片外延材料的制造水平。SES680A硅外延设备可以实现高质量的外延薄膜生长,适用于厚度5-130?m范围的外延工艺,N型、P型掺杂精确可调。该设备具有多项专利创新技术,包括中频感应加热温度控制技术,独特的进气结构设计技术和传输控制技术等。

应用领域:

  集成电路、功率半导体


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