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HORIS D8573AL 卧式低压扩散炉 HORIS D8573AL Low Pressure Diffusion
  在晶体硅光伏电池行业,随着电池片向大尺寸、超薄化、更高产能、更低的表面杂质浓度、更好方阻均匀性和更高能效比方向的发展,传统合管常压扩散炉已不能满足要求。HORIS D8573AL系列低压扩散炉,它对156~162mm尺寸的电池片在每批次产能高达1200/管甚至更高的情形下,其扩散方块电阻均匀性仍优于4%,跟常压扩散炉相比片均能耗降低50%以上,化学品消耗降低更是超过50%,也不用额外增加工艺时间,是高品质扩散的优选跟环境友好型的生产方式。未来晶体硅光伏电池技术的发展,将对新型扩散技术和设备制造水平提出的进一步挑战,光伏行业市场亟待新一代的高性能扩散技术。

应用领域

光伏PV


适用工艺

磷硼等掺杂扩散、氧化、退火及掺杂-退火等一体新型工艺


产品优势

  • 高方阻范围内扩散均匀性优异。
  • 产能高、工艺时间短。
  • 低耗材、低能耗、高能效比。
  • 更精确的源压控制系统和源瓶防爆系统,充分保证产能批次重又性、稳定性和安都性,专利爱护。
  • 更精准高效的反应室变频调压系统,智能、可靠、持久,节约能源,专利爱护。
  • 双层炉门密封结构,更优秀的密封性能和可靠性。
  • 真空尾气处理系统大量采用耐腐蚀材质,高效的过滤冷却系统大幅延长防腐蚀隔膜泵寿命。
  • 专业的净化系统和气路系统设计,减少硅片颗粒污韧辏
  • 成熟的舟自动调度系统,并可跟多种倒片系统匹配,自动运行。
  • 软件符合semi标准,功能齐都、界面友好,具备MES功能(可选项)。
  • 具有多种安都报警爱护、安都互锁、历史记录、操作日志查询功能。
  • 宽泛的工艺适用范围,满足多种工艺探索。
联系方式
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