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Vacuum Tech
NVT-HG型 单晶生长炉 NVT-HG Type Single Crystal Growing Furnace

??在传统的直拉法生产单晶材料时,生产设庇宙在自动化程度低,投料量少、设备功能单元布局不合理等一系列问题,从而导致单晶生产中人工劳动康度大、单位产能跟品质低,成本高等一系列问题。随着社会的进步,市场对新一代单晶生产设备转向自动化程度高、投料镣、单位时间产能高、能耗低等方面。针对这些需求,炉压自动控制技术、CCD非接触测量技术、炉体恒温控制技术的发展的进一步要求也是自动化;大炉体,高副室,旋板阀,水冷屏等的技术改进,是提高投料量跟产能的必要方式。当投料量跟产能达至必定程度时,副室的高度会进一步增加,因此坩埚托盘跟提拉头的动平衡问题会日渐突出,如何保证两大低频非规则运动部件的动平衡将会是一大挑战。

??NVT-HG型单晶炉可实现生长过程的都自动控制,炉压都自动控制,采用CCD测量技术,此外还以其大装炉量、高生产效率、低能量消耗,为客户带来额外利益。




应用领域

? 直拉法晶体提纯

? 直拉法多晶生长

? 直拉法单晶生长

? 目前主要用于单晶硅棒的生产制造


适用工艺

炉压自动控制、CCD非接触测量、自动旋板阀、下排气流线型管路等


产品优势

  • 单台2吨以上的月产能,实现单晶硅棒量产。
  • 合理的炉体布局,使得炉子能耗同比下降10%。
  • 大尺寸的主室为大投料量留下了空间。
  • CCD系统保障了晶体的自动引放跟等径,为以后落级预备了空间。
  • 自动旋板阀的应用大大提高了副室的可应用长度,自动开旋大大减少了操作人员的劳动康度。
  • 下排气的流线型设计,为硅料页面提供稳定的氩气氛围,大大提高液面跟硅棒生产的稳定性。
  • 在极端的漏水等情形发生时,炉盖泄压设计防止了炉体爆炸,将高压泄 放。
  • 自动炉压系统快速调整炉压,实现了炉体自动压力恒压,解决了人工调整炉压的滞后性和正确性等问题。
  • 工艺菜单为客户提供了各类工艺建设储存,客户可以按照自主工艺自动生产晶体。
  • 单机版数据任务站按每分钟储存一次的速率快速存储数条合键数据,为 用户实现工艺参数追溯。



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