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清洗设备 Cleaning Tool
  清洗工艺主要用于去除芯片制造中上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物,去除光阻掩膜或残留,也可根据需要进行硅氧化膜、氮化硅或金属等薄膜材料的湿法腐蚀,为下一步工序准备好最佳的表面条件。清洗一般采用化学和物理作用力相结合的方法实现,在清洗时既要有很好的腐蚀选择性,高效的去除超微细颗粒物及各种残留物的能力,又不能对晶片表面的精致图形结构造成损伤。湿法腐蚀速率,腐蚀均匀性,晶圆正、反面交叉污染的控制,清洗效率等都是至合重要的工已蔼素。bbin体育可提供多种类型的单片清洗设备和槽式清洗设备,已广泛应用于集成电路、半导体照明、先进封装、微机电系统、电力电子、化合物和功率器件等领域。
功率器件 Power Devices
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