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微机电系统 MEMS
  采用微制造技术,集微型组织、传感器、执行器等于一体的MEMS器件,其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向,也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下,其发展会受至来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的峭助力,并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展,具有十分广阔的前景。在MEMS领域,NAURA深硅刻蚀设备已批量销往多家科研组织及生产线,并获得了广泛的认可跟好评;卧式LPCVD已胜利应用于半导体级碳纳米管生长;并胜利研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺解决方案。
化学气相沉积设备 CVD
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