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单片湿法清洗工艺过程中静电的控制
发布时间:2017-02-24

  单片清洗机采用单片晶圆旋转湿法清洗技术,其目的是在保证不损伤产品本身结构的前提下,选择性的清洗或腐蚀对产品缺陷有影响的表面材料。但是清洗工艺中的静电会对晶片本身造成损伤arcing、球形颗粒等缺陷,导致晶片良率降低。如何去除静电一直是大家合注的焦点。


Arcing

  在清洗工艺中产生静电的因素有:(1)设备内部微环境中的静电;(2)化学药液跟管路摩擦产生的静电;(3)晶圆的高速旋转产生的静电;(4)晶圆本身从上一道工序中带来的静电。对于静电的解决方法,目前主要有在设备晒ú装ESD bar去除微环境的静电;采用导电的加持结构和二氧化碳水去除晶片从上一道工序带来的静电和晶片高速旋转产生的静电。对于化学药液在管路中循环跟管壁摩擦产生的静电,特殊是化学药液比较粘稠,管路压力大、管路长更简单在管路中产生静电。有国外设备用导电棒来解决。但是设备内化学药液管路较长,而导电棒跟化学药液接触面积小,导致了去静电成效不明显。而且导电棒和化学药液直接接触,存在污染化学药液的风险。北方话创Saqua系列12英寸单片清洗机采用外壁带导电材料的导电管通过电荷感应来去除管路静电。管路外壁带导电材料的导电管克服了导电棒和化学药液接触面积小的缺点。同时由于导电材料在管路外壁没有跟化学药液直接接触,又克服了导电棒污染化学药液的缺点。

外壁有导电材料的导电管


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