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石英舟(管)清洗机工艺控制
发布时间:2017-02-22

  石英管、石英舟及相合parts的清洗必须根据特定工艺的要求进行定制。凭借多年在该领域的经验跟专业知识积累,TC系列石英舟/管清洁机为客户提供了可靠、快捷、灵活的服务。

  石英管、石英舟及相合parts的材质本身比较脆弱,对它们的清洗是一个非常缜密的过程。此外,为了降低成本,使用完量少的药液达至同样的清洗成效也是设备的重要考量标准之一。TC系列石英舟/管清洁机在清洗过程中采用了滚子滚动、鼓氮、机械臂上下震动、机械臂倾斜等多种技术,在有效的减少了化学品使用量的基础上增康了清洗成效。

1:滚子


2:机械臂

  操作人员可通过人机交互界面(Human Machine InterfaceHMI)实现对TC系列石英舟/管清洗机的控制。在工艺开始前滚子滚动、鼓氮、机械臂震动等功能都可以通过HMI进行选择。根据待清洗件的实际情形,可以选择其中的一种或者多种。在工艺过程中,操作人员可以通过HMI(如图3所示)察看系统当前状态,如当前处在recipe的哪个步骤、工艺剩余时间、各个槽体的液位等信息。此外,通过HMI也可进行log查询、报警信息查询、参数建设等操作。


3:人机交互界面

  通过用户治理界面(如图4所示)可以为不同的操作人员分配权限,通过建设权限实现对不同人员访问界面的控制。如recipe编辑界面只有Leader及以上权限人员方可修改系统参数,例如酸浸泡时间,冲洗次数,冲洗时间等。

4:用户治理界面

  由于具备都面的安都互锁机制,即便操作人员在使用HMI过程中进行了误操作,安都互锁也会对设备进行都方位爱护。


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