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气体质量流量控制器的自我诊断技术
发布时间:2017-02-27

1. 自我诊断技术

  自我诊断技术是在不停机或基本不拆机的情形下,通过各种检测分析来判断设备状态是否正常,异常或故障的缘故、部位、程度以及寿命的预测。

  自我诊断技术的主要作用是获得设备的结果状态信息,即根据设备在各种工况下,表现出来的精度超差,零点漂移,内漏等全部状态信息的综合分析来识别产品的状态、异常类型和异常的严重程度,其本质是一个包含信号采集、信息提取、信息综合、故障识别和信息利用的过程。自我诊断的目标是确保产品在功能、精度、效率和可靠性方面均能稳定运行。


1 自我诊断的目标

2. 自我诊断技术在气体质量流量控制器中的应用

  半导体设备对气体质量流量控制器的要求重要的一点就是高精度,传统的气体质量流量控制器在使用一段时间后,由于环境温度、气体污染等缘故,有可能出现精度超差的现象,但由于检测条件的限制,用户无法对气体质量流量控制器的精度进行检验。因此需要探究一种自我诊断技术,通过该技术,用户可以随时对气体质量流量控制器的精度进行检验。

  增加气体质量流量控制器的自我诊断功能,需要通过初级流量测量原理获得流量。若Qm为气体的质量流量,可以根据压力、温度跟气体流量变化方程建立压力随时间的变化曲线,如图2所示:


2 压力随时间的变化曲线

  通过该图可以建立气体质量流量控制器的精度对应表,进行自我诊断过程中,跟该表格信息进行对比,可通过两条曲线的相似度判定,系统的精度是否在要求范围内。自我诊断技术大大提高了气体质量流量控制系统的可靠性,完善了系统功能。

3. 自我诊断技术优势

  采用自我诊断技术的智能分析,质量流量控制器能够做出智能化的检测,对该设备可能出现的故障进行预测,在预测的基础之上,自动予以排除或者做出报警反映,这一过程对于产品本身使用中的维护而言,能够取得更好的经济效益,不但任务人员的任务量可以得至有效的降低,自诊结果也能够得至很都面地提供,维护人员还可以对应的进行越发完善、有效的维护方案制定,修理保养地开展和实施就会越发的精准。对于客户来讲可以保证工艺长期正确性,大大提高产品的使用寿命。


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