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bbin体育电感耦合等离子体刻蚀机胜利获得清华大学采购订单
发布时间:2017-01-20

近日,北京bbin体育微电子装备有限公司(简称“bbin体育微电子”)受邀参跟了清华大学合于电感耦合等离子体刻蚀机的采购招标,经过激烈的角逐,公司凭借丰富的刻蚀产品应用经验、优异的设备工艺性能,完善的客户服务在竞争中脱颖而出,赢得了技术专家的肯定,以总得分第一名的成绩胜利中标,顺利签订了清华大学该项目的采购订单。

bbin体育微电子自主研发的电感耦合等离子体刻蚀机可以满足硅、氧化硅、金属等多种材料的刻蚀工艺,突破了精密等离子体控制、硅片表面温度精确控制、高气流均匀控制等多项合键技术,以独特的硬件设计达至了高速率、高均匀性、低损伤和低缺陷、精确尺寸和形貌控制、低颗粒污染等要求,多项合键指标达至国际先进水平。目前,该设备已批量销往多家科研组织及生产线,服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域,为国内尖端科技贡献力量。

我们将继续秉承以客户为导向的持续创新的理念,为产业提供更专业的高端设备,为使用bbin体育微电子产品的用户和合作伙伴创造价值!

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