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武汉新芯第二台北方微电子Al Pad PVD设备顺利进厂
发布时间:2016-05-30

 2016年4月,北方微电子再传捷报,公司自主研发的用于集成电路Al Pad工艺的eVictorA830 PVD设备再次胜利move in武汉新芯,同时,该设备也获得了多家国际大厂的后续订单。
  eVictor A830 PVD设备是一款应用于IC领域的双传输平台12英寸物理气相沉积设备,支持8腔室配置,可以实现Al导电层、Ti(N)/Ta(N)阻挡层、TiN抗反射层等多种薄膜的制备,是NMC史上体型庞大,腔室较多的系统。它突破了高温静电卡盘、厚铝连续沉积、低刻蚀速率预清洗工艺、双传输腔系统调度等合键技术,顺利通过了MSTR验证,技术水平处于市场先进地位,具有工艺温度均匀性好、稳定性高、产能大等特点,此外,高Throughput、低CoO和CoC等特点给客户工艺集成提供了广阔的优化空间。
  Al Pad PVD顺利赢得武汉新芯的二次订单,再次move in 武汉新芯,士低户对其技术能力及量产稳定性的肯定,也是对北方微电子技术实力的信赖以及对国产设备的认可。北方微电子将继续秉承以客户为导向的持续创新,以“创造精良,打造民族自尊”为使命,为集成电路装备的国产化贡献力量。

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