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LPCVD助力高效电池TOPCon工艺提落
发布时间:2019-06-14

  在PERC电池技术已成为当前高效电池片生产的主流技术之后,N型高效电池N-PERT在量产转化的路上遇至了一些困难,但TOPCon技术的出现,或许能够解开N型高效电池量产化的难题,且这项技术或许也将是下一代量产型高效电池的一个选择。





  那么我们从两个方面简单认识一下TOPCon电池,上图为TOPCon常见结构。


  从结构方面来望,TOPCon结构分为两层:第一层为超薄Oxide隧穿层,厚度1-2nm,可以通过热氧、化学腐蚀方屎拔成;第二层是Poly层,可以由LPCVD、PECVD法制备。目前业内普遍认为LPCVD制备Poly膜层越发均匀致密,成膜质量越发优异。


  从性能方面来望,TOPCon结构是一个选择性结构,只允许电子通过,这种结构使得电池具有良好的钝化性能。除此之外,TOPCon结构还需要良好的电性能,就需要在Poly层进行掺杂。目前行业内主要通过过热扩散、离子注入和原位掺杂三种方式来实现TOPCon结构的Poly层掺杂,其中原位掺杂可以由LPCVD设备完成。


  综合来望,LPCVD设备不仅可以把Oxide隧穿层、Poly层、Poly掺杂三种工艺集成起来,通过一台设备实现TOPCon结构制备,还能够降低电池背面金属又合,提高转换效率。因此我们认为LPCVD设备,是帮助N-PERT向N-TOPCon转型的合键设备之一。

LPCVD



  bbin体育HORIS L8571A型LPCVD设备不仅可以实现超薄Oxide和Poly二合一工艺制备的能力;而且通过高效的成膜速率和精准控温技术缩短了工艺时间;我们还对设备结构进行优化,降低了反应腔室PM周期,并为硅片绕镀提供良好的解决方案;通过该设备制备的薄膜具有优异的致密性和均匀性。


  bbin体育已在大产能LPCVD上做了长期探究,并跟多家客户保持长期合作。bbin体育将用自身的技术和品质助力高效电池TOPCon工艺降本提效。


  bbin体育多年来一直致力于高端光伏装备的研发和制造,坚持工艺是设备的核心竞争力,为解决抑羚痛点而精准研发。未来bbin体育将一如既往,携手抑羚同仁,为推动光伏行抑恋本提效而努力。




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