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Bpure系列 石英舟/管清洗机 Bpure Series Quartz Boat/Tube Cleaning Tool
??为了保证工艺纯度,处理过必定数量的晶圆后,石英管、石英舟必须从炉中取出并进行清洗。石英管、石英舟及相合parts本身非常脆弱,它们的清洗必须根据特定工艺的要求进行定制。

??Bpure系列石英舟(管)清洗机,广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺,主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外,也可以用于清洗其它石英材质的零部件,如石英板、点火炮、保温桶等。

应用领域

??集成电路、先进封装、光伏


适用工艺

??石英舟/管、石英板、点火炮、保温桶等零部件清洗


产品优势

  • 工艺结果具备高度的一致性,确保清洗成效。
  • 运行稳定,uptime≥99%,降低维护成蓖辏
  • 分级安都互锁建设,确保设备安都可靠。
  • 良好的密合性有效保证了任务环境及操作人员的安都性。
  • 布局专业,占地空间小。
  • 工艺过程完都自动化控制。
  • Recipe编辑灵活、快捷,支持并行工艺。
  • 适用于多种尺寸零部件清洗。
  • 一机多用,可兼容石英舟/管清洗。
  • 自主研发控制系统,友好的人机交互界面。
  • 非标设备可根据客户需求实现定制。




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