首页>产品&服务>半导体装备 Semiconductor>辅助设备 Facility>GTC 精密恒温恒湿机 GTC Thermal Control Unit (TCU)
产品&服务 Products & services
半导体装备 Semiconductor
GTC 精密恒温恒湿机 GTC Thermal Control Unit (TCU)

??在平板显示行业和半导体制造行业中,在对面板或者精密器件曝光、显影/涂布等处理过程中,对面板或者器件所处的工艺环境要求非常高,不同的温度和湿度稳定性和均匀性直接影响至加工工艺的良率,因此为面板或者器件提供一个恒定的温湿度环境尤为重要,精密控制温湿度才能达至良好的加工成效,减少因为温度或湿度不均匀带来的缺陷。

??NAURA GTC精密恒温恒湿机(Thermal Control Unit,?以下简称TCU)可用于平板显释辎半导体制造、精密机械加工、精密测量等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。

应用领域

??主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制,确保曝光机、显影/涂布设备等制程良率


适用工艺

  • 通过控制冷却风机温度,对进气温度进行调整,达至恒温状态
  • 将恒温空气以喷射的方式均匀喷布在玻璃基板的表面,使其表面温度维持稳定


产品优势

  • 设备功率低,操作简单。
  • 洁净度控制高,满足客户对洁净度的要求。
  • 温度、湿度精度控制精准。
  • 设备内建温湿度曲线显示及数据存储,保证实时监控设备的温湿度控制。
  • 设备具备警报、远端监测及自动防护等功能,实现客户操作的便利性。


联系方式
XML 地图 | Sitemap 地图