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半导体装备 Semiconductor
EGC 磨边后清洗机 EGC Grind Cleaner

??TFT-LCD面板生产中CELL工艺段需要对磨边后的液晶面板表面进行清洗,去除磨边后的液晶面板膜面的有机物、碎屑、微粒等杂质,此工艺段需要用湿法清洗工艺。磨边后清洗机对液晶面板的洗净能力直接影响至液晶面板在后续制程的产品良率。

??NAURA EGC磨边后清洗机(EGC Grind Cleaner)外形紧凑,能对应G4.5~G8.5范围内的Panel规格进行调整清洗工艺,很大程度上提高了洗净能力,可应用于各世代Cutting清洗工艺产线。

应用领域:

  TFT-LCD生产过程中对磨边后的液晶面板进行清洗


适用工艺:

  湿法清洗工艺


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