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半导体装备 Semiconductor
UVC 紫外线固化炉 UVC UV Cure

??紫外固化是利用光化学反应向树脂中加入光敏剂,经过紫外照射后引发聚合、交联和接枝反应,使树脂在数秒内由液态转化为固态胶膜的化学过程。工艺过程不需要传统的挥发性有机溶剂(VOC)和高温热固化方式,故工艺过程损耗小、无VOC排放,不产生三废。紫外线固化炉已成为平板显示行业广泛应用的绿色环保型固化设备。

??NAURA UVC紫外线固化炉(UVC UV Cure)主要应用在TFT-LCD液晶面板(Panel)边框胶快速固化的工段。?

应用领域

??TFT-LCD生产过程中Panel边框胶的快速固化


适用工艺

??紫外线固化炉固化方式如图所示,UV光穿过Mask基板的井字形透明区域照射至液晶面板上,工件上被UV光照射的区域开始发生固化反应,而未被照射至的区域则不发生固化反应。通过建设相应的Mask基板,由金属或玻璃材质的Mask基板上透明区域的形状来决策Panel最终需要固化区域的形状


产品优势

  • 紫外光线照射均一性好,能够减少由于基板问题变化而产生的变色,这样可以省略对周边四角的曝光。
  • 节拍时间短,利用光学Filter对光的控制技术,减少二次曝光,从而使设备对玻璃基板的处理更快捷。
  • 处理温度低,避免固化过程玻璃基板温度过高造成变形。
  • Mask对位精度高,能够和基板进行精度较高的对位,从而提高有效的曝光精准度。
  • 紫外固化后胶膜粘合力康,提高了液晶面板的合格率。
  • 可配置多规格任务台,反光罩结构和灯管布局适应更大流水线的Panel基板和异型基板,来满足客户需求。


联系方式
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