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AE AT6000 都自动物料传输系统+MCS AE AT6000 Automatic Material Transportation System+MCS

AE AT6000都自动物料传输系统用于晶硅太阳能自动化生产线,负责各工艺单元之间片盒片篮的自动分配和传输。采用高空传输方式,具备MES接口,可兼容多种在线设备。整个系统可分为两段:前段负责在线制绒、扩散和湿法刻蚀工艺单元之间片篮的自动分配和传输,后段负责湿法刻蚀、PECVD和丝网印刷工艺单元之间片篮的自动分配和传输

应用领域

PV


产品优势

  • 采用平带传输方式,保证传输平稳。
  • 具备物料追踪,其传输对象是片盒或片篮。
  • 片篮容量100片,可最大缓存90篮。
  • 采用模块化设计,可根据客户要求定制方案。
  • 采用MES 标准接口:SECSII/GEM,具备良好的扩展性。
  • 具备高产能和低碎片率,能够显著提高产品质量。





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