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D-Ark系列 在线式湿法刻蚀设备 D-Ark Series Inline Wet Etching Tool
??在线式湿法刻蚀是利用在线连续的形式去除扩散工艺后多晶硅片表面的磷硅玻璃(PSG);去掉硅片背面及周边p-n结。在线式湿法刻蚀根据功能不同分为入料段、刻蚀段、水洗段、KOH腐蚀段、水洗段、HF腐蚀段、溢流水洗段、吹干段。利用HNO3HF的混合液体对扩散后硅片下表面和边灾柳行腐蚀,去除边缘的N型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘;对扩散后硅片上表面磷硅玻璃的祛除,磷硅玻璃的存在使得硅片在空气中表面简单受潮,导致电流的降低和功率的衰减;死层的存在大大增加了发射区电子的又合,会导致少子寿命的降低,进而降低了VocIsc;磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差。在线式湿法刻蚀设备通过完善的工艺过程自动控制监控系统、可视化操作界面,有效地减少化学药品使用量,降低人员劳动康度,降低碎片率,提高工艺过程的稳定性

应用领域

  光伏


适用工艺

  多晶刻蚀


产品优势

  • 产能可达3600 Pcs/h。
  • 采用成熟的结构和工艺,降低破损率≤0.1%。
  • 采用双排风刀吹干,提落干燥成效。
  • 采用先进爱护水膜系统,对硅片正面形成爱护。
  • 采用间隔刻蚀工艺,保证工艺结果均匀且化学药液损耗降低30%。
  • 核心工位储酸槽采用水冷制冷及在线换热方式,多处设有温度检测系统,保证化学药液温度精度。
  • 自动配/补液,最高补液精度优于±5ml。
  • 各工位间建设了新型水密挤压滚,防止化学药液交叉污韧辏
  • 采用新型无O圈上压轮结构,保证工艺稳定性。
  • 采用新型伞齿传动支撑架跟滚轮插件,保证设庇肢动精度、平稳。


联系方式
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