产品&服务 Products & services
集成电路 IC
  集成电路作为信息产业的基础及核心,是合系国民经济和社会发展都局的基础性、先导性和战略性产业,已成为拉动电子工业迈向数字时代的峭引擎。国际上也以其技术水平作为衡量国家综合国力的重要标志之一。集成电路制造领域,NAURA厚积薄发,自主研发了国内首台应用于14nm先进制程的等离子硅刻蚀机,已正式进入客户生产线;应用于28nm制程的Hardmask PVD设备,已成为国内主流芯片代工厂的Baseline设备,并胜利进入国际供应链体系,代表着国产集成电路工艺设备的最高水平;单片清洗机、立式氧化炉、单片退火系统、Al Pad PVD等设备也均进入主流代工厂,实现批量销售。
气体测量控制 Gas Measuring Control
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